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日本の半導体ひずみゲージ市場を動かしているのは何でしょうか。本記事では、国内需要を押し上げている要因と、市場を構成する製品タイプ・用途を整理します。
需要を押し上げている要因
日本における半導体ストレインゲージの需要拡大は、自動車産業、特に電気自動車向けの高精度バッテリー管理システムやモーター制御における信頼性要求の厳格化が主な要因です。加えて、老朽化した社会インフラの点検・補修需要が高まる中で、建設業界や鉄道業界が構造ヘルスモニタリングにこのセンサーを採用しており、従来の金属箔ゲージでは対応が難しい高応力・高温環境での計測ニーズが顕在化しています。コスト面では、半導体製造そのものの国産回帰と、政府が進めるエネルギー効率規制の厳格化が、より長期安定性に優れたSiC(炭化ケイ素)ベースのゲージへのシフトを促進しています。また、IoTによるリアルタイム監視システムの普及に伴い、微小信号を高速処理できる集積回路一体型の半導体ゲージが標準となりつつあり、仕様選定においては従来のひずみ感度係数だけでなく、温度ドリフト許容値や長期信頼性データの提出が不可欠となっています。
製品タイプ別の内訳
- 一体型半導体ひずみゲージ
- 薄膜半導体ひずみゲージ
- 拡散型半導体ひずみゲージ
- エピタキシャル半導体ひずみゲージ
タイプごとの特徴
半導体ひずみゲージには主に集積型、薄膜型、拡散型、エピタキシャル型の四種類があり、それぞれ独自の用途に活用されています。集積型半導体ひずみゲージは、シリコンチップ上に回路と一体化して形成され、小型化と多点測定が可能なため、ロボットの触覚センサーや精密な圧力計に用いられます。薄膜型はスパッタリングなどで金属薄膜を基板に蒸着して作製され、高温環境や腐食性ガスに強い特性から、航空宇宙分野の構造監視や高温下の工業プロセス計測に適しています。拡散型は不純物を熱拡散させてシリコン基板に直接形成するため、長期安定性に優れ、自動車エンジンの燃焼圧力センサーや産業用圧力トランスデューサーで広く使われます。エピタキシャル型は単結晶薄膜を成長させることで歪み感度が極めて高く、超高精度が求められる航空機の荷重測定や微小変位検出に採用されています。
用途別の内訳
- 産業用計測および制御
- 計量機器
- 航空宇宙
- クレーン
- その他
市場に関わる主要企業
- BCM Sensor
- Micron Instruments
- Kyowa
- HT Sensor
半導体ひずみゲージ市場レポート
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